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產(chǎn)品詳情

一、產(chǎn)品概述

FM3000系列標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差專利技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。FM3000系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可用于快速精確地測量并控制過程氣體的質(zhì)量流量。采用快速穩(wěn)定的優(yōu)質(zhì)電磁閥以及優(yōu)化的PID調(diào)校，可達(dá)到優(yōu)于100ms的控制速度，并保持極佳穩(wěn)定性。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

● 響應(yīng)時(shí)間快僅需100ms(可調(diào))；

● 高精度、高分辨率控制；

● DC 9-36V 寬電壓供電；

● 低功率，功率＜2W；

● 集成 40 種基礎(chǔ)氣體種類；

● 可自定義 10 種混合氣體；

● 控制參數(shù)自整定功能；

● 數(shù)字化控制，RS-485 Modbus RTU 通信模式；

● 寬流量量程范圍；

● 無需預(yù)熱；

● 無安裝方向限制；

● 具有高重復(fù)性和高可靠性；

● 采用電磁比例閥，使用壽命長，響應(yīng)速度快；

● 自帶溫度補(bǔ)償，補(bǔ)償范圍0-50℃；

● 內(nèi)部閉環(huán)控制，具有高穩(wěn)定性；

● 小封裝尺寸；

三、產(chǎn)品規(guī)格

■	流量規(guī)格	（10，20，30，50，100，200，300，500）mL/min
■	流量規(guī)格	（1，2，3，5，10，20，30，50）L/min
■	調(diào)節(jié)閥類型	電磁調(diào)節(jié)閥
■	調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài)	常閉
■	安裝角度	任意
■	流量控制范圍	2%—100%F.S.
■	流量測量范圍	0%—100%F.S.
■	響應(yīng)時(shí)間	≤1sec
■	工作環(huán)境溫度	5℃-50℃
■	精度保證溫度	15℃—35℃
■	精度	±1.0%S.P.（30%F.S.≤）；±0.30%F.S.（<30%F.S.）
■	線性精度	±0.5%F.S.
■	重復(fù)性	±0.2%F.S.
■	最大工作壓力	300kPa（G）
■	耐壓	1MPa（G）
■	工作壓差	10mL/min-5L/min（50-300）kPa（D）
		10mL/min-30L/min（100-300）kPa（D）
		50L/min（150-300）kPa（D）
■	泄露率	<1×10^-8Pa m³/s(He)
■	接觸氣體材料	316L,Viton,PTFE
■	管路接頭	Swagelok：Φ6mm,Φ10mm,Φ1/4”;VCR：1/4”,3/8”
■	供電電源	±15VDC（±5%）（+15V，≤150mA;-15V,≤150mA）
■	設(shè)定信號	數(shù)字：RS485
■ ■	流量輸出信號	數(shù)字：RS485
■	通訊接口	數(shù)字RS485
		波特率9600bps
		Modbus RTU 協(xié)議從機(jī)，設(shè)備號可選范圍1-255
■	重量（kg）	0.9kg

四、產(chǎn)品應(yīng)用

? 生物制藥：發(fā)酵反應(yīng)氣的過程控制；

? 食品飲料：混合，裝瓶過程控制，干燥冷卻，包裝保護(hù)器；

? 工業(yè)爐：火焰/燃燒控制/氣體混合；

? 真空鍍膜：薄膜沉積過程控制；

? 汽車：排放測試，排放監(jiān)控、測量壓縮氣體；

? 熱處理：燃燒控制，焊接；

? 分析/氣體分析：抽樣分析。氣體抽樣比例測試，從色譜儀中核查多氣體流動(dòng)的氣流氣壓；

? 光纖：MCVD/VAD/OVD；

? PV：擴(kuò)散過程氣體/PECVD/離子注入；